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VacSpec-F200200mm焦距真空光谱仪
VacSpec-F200是一款工作波段覆盖极紫外至紫外的200mm真空光谱仪,焦距为f/4.5,具备像差校正功能。
· 畸变校正
· 格栅围绕顶点旋转
· 精密驱动
· 可选双端口,转塔
· 畸变校正
· 格栅围绕顶点旋转
· 精密驱动
· 可选双端口,转塔
产品详情
VacSpec-F200是一款工作波段覆盖极紫外至紫外的200mm真空光谱仪,焦距为f/4.5,具备像差校正功能。其核心配置为1200g/mm光栅,光谱分辨率(FWHM)优于0.1 nm。该光谱仪配备精密可调狭缝,宽度范围从0.01mm至3mm。通过集成的波长计数器和手动操作的正弦驱动机构,VacSpec-F200能够实现精确且可重复的波长定位。扫描控制器支持计算机/软件控制。为满足不同应用需求,VacSpec-F200可提供微通道板(MCP)和CCD探测器适配器作为选配件,适用于各种深紫外或真空紫外探测场景。此外,结合真空紫外光源,VacSpec-F200也能作为一款性能优异的可调谐紫外光源使用。
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光学设计
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畸变校正的Seya-Namioka
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入射角
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32°
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焦距
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200mm
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光圈值
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4.5
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波长范围
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参考感兴趣的刻度范围
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波长精度
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±0.10 nm(使用1200 g/mm光栅)
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波长再现性
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±0.05 nm(使用1200 g/mm光栅)
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光栅尺寸
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40×45毫米(单运动光栅支架,转盘可选)
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狭缝
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连续可变千分尺,行程宽度从0.01毫米到3毫米可设置高度
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真空
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高真空10E-6托标准,超高真空可选
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焦平面 |
25 mm微通道板或直接检测CCD |
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· 不同光栅的性能
| 光栅槽密度(g/mm) | 2400 | 1200 | 600 | 300 |
| Spectral Resolution(nm,FWHM)1 | 0.05 | 0.1 | 0.2 | 0.4 |
| 色散(nm/mm) | 2 | 4 | 8 | 16 |
| 波长范围至(nm) | 225 | 550 | 1100 | 2200 |
| 全息优化:(nm)2 | 80 | 140 | 140 | 140 |
| 140 | 300 |
1.在扫描模式下测试,波长为184.9或312.6纳米,光阑宽度为10微米,在最慢的光圈比下进行。
2.格栅在从2/3 blaze波长到3/2blaze波长范围内效果最佳。
· 光栅选择

VacSpec-F200从40到200nm的样品光谱,使用低分辨率扫描和硅二极管探测器测量空心阴极光源光谱。

· 仪器配置

可选的双光栅转盘和超高真空(UHV)配置未显示
系统示例1-极端紫外线,可调光源30至160 nm

系统示例2-深波和紫外线,可调光源120至220 nm

系统示例3-从120到220纳米可调光源,具有紫外/可见光到红外发射功能

